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在現(xiàn)代科研與工業(yè)領(lǐng)域，精密儀器如半導(dǎo)體、測(cè)量?jī)x、光刻機(jī)等，對(duì)環(huán)境的微振動(dòng)極其敏感。地面的微小震動(dòng)，如人員走動(dòng)、車輛經(jīng)過(guò)甚至空調(diào)運(yùn)行，都可能像“地震”一樣干擾其測(cè)量精度和成像質(zhì)量。為此，為其安裝一個(gè)專業(yè)的落地隔振平臺(tái)，就如同為它打造了一個(gè)“寧?kù)o的港灣”。
項(xiàng)目背景：
某高校材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室新購(gòu)入一臺(tái)高精密測(cè)量?jī)x，實(shí)驗(yàn)室位于一樓，臨近馬路，初步振動(dòng)測(cè)試顯示，主要干擾頻率在5-20Hz范圍內(nèi)，遠(yuǎn)超設(shè)備允許值。因此，決定為其安裝一臺(tái)落地隔振平臺(tái)。
安裝過(guò)程實(shí)錄：
第一步：前期勘察與場(chǎng)地準(zhǔn)備
這是成功安裝的基礎(chǔ)。我們的工程師首先對(duì)實(shí)驗(yàn)室地面進(jìn)行了平整度檢測(cè)，確保在平臺(tái)范圍內(nèi)高低差小于3mm。同時(shí)，確認(rèn)了樓板的承重能力，并精準(zhǔn)定位了設(shè)備所需的電源、壓縮空氣接口以及網(wǎng)絡(luò)線纜的位置。根據(jù)平臺(tái)和測(cè)量?jī)x的總重量及尺寸，我們與實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人共同確定了最終的安裝位置，并清空了場(chǎng)地。
第二步：平臺(tái)就位與初步調(diào)平
平臺(tái)主體通過(guò)叉車運(yùn)至指定位置。由于平臺(tái)自重較大，我們小心翼翼地將隔振平臺(tái)移動(dòng)到位。隨后，通過(guò)平臺(tái)底部的機(jī)械調(diào)平螺絲進(jìn)行初步高度和水平調(diào)整。這個(gè)過(guò)程需要耐心，確保平臺(tái)基本處于水平狀態(tài)，為后續(xù)的氣浮系統(tǒng)啟動(dòng)做好準(zhǔn)備。
第三步：連接氣源與電源，啟動(dòng)系統(tǒng)
將工廠潔凈的壓縮空氣管路通過(guò)高壓軟管連接到平臺(tái)的進(jìn)氣接口。在連接前，特意打開氣源閥門，短暫排氣以清除管路中的任何雜質(zhì)和水分。接著，連接平臺(tái)的主動(dòng)控制系統(tǒng)電源。一切就緒后，啟動(dòng)系統(tǒng)。伴隨著輕微的排氣聲，氣浮隔振器開始充氣，將平臺(tái)主體平穩(wěn)地頂起，進(jìn)入“懸浮”工作狀態(tài)。此時(shí)，機(jī)械調(diào)平螺絲已不再承重。
第四步：精調(diào)與測(cè)試
平臺(tái)安裝后，使用高精度電子水平儀再次檢查平臺(tái)面的水平度，并通過(guò)控制系統(tǒng)的進(jìn)行微調(diào)，確保達(dá)到“±0.1°”以內(nèi)的水平精度。實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并抵消傳入的振動(dòng)。我們使用獨(dú)立的振動(dòng)分析儀在平臺(tái)臺(tái)面上進(jìn)行測(cè)試，確認(rèn)振動(dòng)水平已成功降至0.8μm/s以下，完全滿足光刻機(jī)的苛刻要求。
通過(guò)這次安裝，該實(shí)驗(yàn)室的測(cè)量?jī)x器得以在近乎“零振動(dòng)”的環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，科研數(shù)據(jù)的可靠性得到了根本性保障。一個(gè)專業(yè)的落地隔振平臺(tái)，不僅是設(shè)備的基座，更是科研成果的堅(jiān)實(shí)守護(hù)者。
